विशेष गॅस उद्योगावर लक्ष केंद्रित करा

इलेक्ट्रॉनिक वायूंमध्ये इलेक्ट्रॉनिक विशेष वायू आणि इलेक्ट्रॉनिक बल्क वायूंचा समावेश होतो.इंटिग्रेटेड सर्किट्स, डिस्प्ले पॅनेल्स, सेमीकंडक्टर लाइटिंग, फोटोव्होल्टेइक आणि इतर उद्योगांच्या निर्मिती प्रक्रियेत ते अपरिहार्य आणि महत्त्वाचे साहित्य आहेत.एकात्मिक सर्किट निर्मितीसाठी इलेक्ट्रॉनिक विशेष वायू आवश्यक आधारभूत साहित्य आहेत.ते फोटोलिथोग्राफी, एचिंग, फिल्म निर्मिती, साफसफाई, डोपिंग, डिपॉझिशन आणि इतर प्रक्रिया लिंक्समध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात.त्यांना शुद्धता, स्थिरता, पॅकेजिंग कंटेनर, इत्यादीसाठी उच्च आवश्यकता आहेत, जे सेमीकंडक्टर उद्योगाचे "अन्न" आणि "रक्त" म्हणून ओळखले जातात.इंटिग्रेटेड सर्किट मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये हजारो प्रक्रियांचा समावेश होतो, ज्या अत्यंत क्लिष्ट असतात आणि शेकडो इलेक्ट्रॉनिक विशेष वायूंचा वापर आवश्यक असतो.इंटिग्रेटेड सर्किट मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, इलेक्ट्रॉनिक वायू वेगवेगळ्या प्रक्रियांनुसार डोपिंग वायू, आयन इम्प्लांटेशन वायू, साफ करणारे वायू, एचिंग वायू आणि फोटोलिथोग्राफी वायूंमध्ये विभागले जाऊ शकतात;इलेक्ट्रॉनिक वायू मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात आणि उच्च तांत्रिक आवश्यकता आहेत.स्त्रोत आणि त्यांच्या पुरवठा प्रणालींना मागणीची आवश्यकता आहे.गॅस शुद्धता हे विशेष गॅस उत्पादनांचे मुख्य पॅरामीटर आहे, ज्यासाठी अल्ट्राप्युअर आणि अल्ट्राक्लीन आवश्यक आहे.अल्ट्राप्युअरला 4.5N, 5N किंवा अगदी 6N किंवा 7N पर्यंत पोहोचण्यासाठी गॅसची शुद्धता आवश्यक आहे.प्रत्येक वेळी शुद्धता एक N ने वाढते आणि प्रत्येक वेळी कण आणि धातूच्या अशुद्धतेची एकाग्रता परिमाणाच्या एका क्रमाने कमी होते, तेव्हा गॅसची शुद्धता परिमाणाच्या एका क्रमाने वाढेल.प्रक्रिया जटिलता आणि अडचण मध्ये लक्षणीय सुधारणा आणणे.मिश्रित वायूसाठी, प्रमाणाची अचूकता हे कोर पॅरामीटर आहे.उत्पादनाचे घटक जसजसे वाढत जातात आणि तयारीची अचूकता वाढते तसतसे, गॅस पुरवठादारांना अनेकदा विविध पीपीएम किंवा अगदी पीपीबी पातळीच्या एकाग्रतेसह गॅस घटकांवर अचूक ऑपरेशन्स करणे आवश्यक असते.